光学式非接触測定器は、光学原理を利用して対象物に直接接触することなく、対象物の大きさ、形状、表面品質などの特性を測定する高度な測定装置です。この測定方法は、高精度、高速、非破壊などの特徴を持ち、多くの分野で広く利用されています。

光学式非接触測定器

動作原理

光学式非接触測定器の動作原理は、主に光学センシング技術に基づいています。光源から発せられた光で対象物を照明し、対象物からの反射、散乱、透過光を光センサーで受光することで対象物の関連情報を取得します。光学式非接触測定器は、さまざまなアプリケーション要件に応じて、三角測量、変位干渉法、スペックル法などのさまざまな測定方法を使用できます。

三角測量

三角測量は、一般的かつ基本的な光学的非接触測定方法です。光学センサーを使用して対象物上の特定の点の位置を測定し、対象物の大きさや角度などを計算します。機械製造や工業用検査など、寸法測定や形状解析が必要な場面に適しています。対象物上の複数点を計測することで、対象物全体の三次元形状情報を復元することができます。

変位干渉法

変位干渉法も一般的に使用される光学的非接触測定法です。光干渉の原理を利用し、対象物表面の変位情報を計測することで対象物の形状や表面品質を判定します。この方法は高精度・高感度という特徴があり、半導体製造や精密光加工など、微小変位測定や表面品質評価が必要な分野に適しています。

スペックル法

スペックル法は光学式非接触測定の特殊な方法です。レーザー照射により対象物の表面に発生するスペックルパターンを利用して、対象物の表面形状情報を取得します。スペックルパターンを解析・処理することで、対象物の表面粗さ、高低差などを測定できます。スペックル法は非接触かつ高感度という特徴があり、材料科学やバイオ医学などの分野で広く利用されています。

主な特徴

光学式非接触測定器の主な特長は次のとおりです。

非接触：測定中に測定対象物に接触する必要がないため、接触による変形の影響を回避できます。

高精度：微小な変位や表面品質を高精度に測定できます。

高速：測定速度が速く、作業効率が大幅に向上します。

柔軟性: さまざまな測定要件に応じてさまざまな測定方法と組み合わせを選択し、さまざまなアプリケーションシナリオに適応できます。

信頼性: 広範なデータ取得とコンピューター処理により、測定結果の信頼性と再現性が保証されます。

まとめると、光学式非接触測定器は、その独自の原理と特性により、多くの分野で幅広い応用の可能性を秘めています。