一、设备概述
1、设备概述
晶圆内应力检测仪（Strain Viewer SV400）具备透光材料内应力分布测量及缺陷筛查功能，能显现更大 400*300mm 全口径内应力图像和部分缺陷（如位错、微管等）分布。基于双折射应力测量模型实现应力定量测量。
检测原理
本系统基于偏振光应力双折射效应检测材料内部应力分布。材料在成型过程中会由于工艺及环境条件形成不同的材料内部分布导致内应力；同时材料内部的缺陷也会导致应力集中。内应力会导致应力双折射效应，偏振光透过材料时会发
生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量推算出材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布。
二、设备指标参数
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