基本原理

激光曲率法

基于Stoney公式

主要方法

采用双波长激光对样品进行扫描测量

635nm/670nm波长/>5mW

主要功能

自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应

力

薄膜应力测试范

围

1~10000MPa

曲率半径测试范

围

2-20000m

曲率半径重复精

度

<1%1o(曲率半径<20m)

<2.5%1o(曲率半径<200m)

扫描最小步长

0.1mm

样品尺寸

子型号M6-标配更大6英寸，向下兼容4、3、2英寸
子型号M8-标配更大8英寸，向下兼容6、4、2英寸子型号M12-标配更大12英寸，向下兼容8、6、4英寸

样品台

电动旋转平台

样品基片校正

可数据处理校正原始表面不平影响(对减模式)

电源

110-220VAC&200WattsMaximum

通讯连接端口

USB3.0

工作温度

室温

操作软件

可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、翘曲曲率半径和薄膜应力分布

视窗界面/适用于Windows10系统

操作电脑

标配品牌台式一体机:

显示器:>21英寸，>8G内存，CPU>25GHz，>512G硬盘

外形尺寸

~850宽x550深x450高mm

重量

~35Kg

质量保证

一年免费/终身维护

备注

以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我

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